 반도체 고진공 10^-10 torr 장비
 < 제 목 : 반도체 고진공 장비의 씰링시스템 >
* 적용장비 : 왕복운동 및 저속 회전을 동시에 사용하는 반도체 장비
* 진공도 : 10^-10 torr
* 내화학성 : 내화학성이 대단히 우수하여 대부분의 반도체 약품에 적용
* 적용씰 : 에리씰 103H type
* 적용온도 : ~ + 300도C
* 효과 : 품질 안정성이 매우 크며, 가격이 매우 저렴하여 양산에 적용하기가 적당
* 모든 시험이 성공적으로 진행되어, 현재 반도체장비 생산업체에서 정기적으로 사용중에 있음
< 기타 상세한 문의는 E-mail : sealia@sealia.com 또는 Tel. 02-866-8737로 문의 바랍니다. 당사는 최첨단의 씰링 시스템을 적용하는 기술로 보답하는 회사입니다. 업무중 궁금한 사항이 있으면 언제든지 문의를 하시기 바랍니다. >
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